新聞資訊
當前位置:首頁 > 新聞資訊

多晶矽高溫尾氣處理

2017-11-07

多晶矽是單質矽的一種形态。常溫下不活潑,高溫下與氧、氮、硫等反應。高溫熔融狀态下,具有較大的化學活潑性,能與幾乎任何材料作用,主要應用于太陽電池。

電子行業廣泛用于制造半導體收音機、錄音機、電冰箱、彩電、錄像機、電子計算機等的基礎材料。由幹燥矽粉與幹燥氯化氫氣體在一定條件下氯化,再經冷凝、精餾、還原而得。

多晶矽的生産技術主要為改良西門子法和矽烷法。不管是改良西門子法還是矽烷法生産工藝中都需要大量過濾分離器。

結合諸多項目經驗,飛潮提出了自己的過濾工藝龙8国际。

1、污染物及雜質

多晶矽具有半導體性質,是極為重要的優良半導體材料,但微量的雜質即可大大影響其導電性。

未完全反應的矽粉、顆粒循環液帶入的管道中的雜質、進料帶入的固體粉塵與雜質、合成反應生成的固體雜質……這些顆粒的存在是影響生産穩定、換熱效率的重要原因。

高效的過濾與分離裝置不僅保護了生産設備的工藝安全,同時也提升了産品産量。

 



2、高溫尾氣淨化

尾氣過濾應用在多晶矽生産的各個工藝段,對多晶矽的生産起到重要作用,尤其目前行業低位運行期間,對多晶矽産品降低成本至關重要。


在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過幹法分離後,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應矽粉和生成的石墨粉,保證氫氣純淨,使氫化反應和還原反應更穩定、高效。

高危氣體氫氣  

要求:過濾器密封性能良好。
方案:采用自動反吹系統,無須打開濾器,減少内件更換頻次,避免洩露可能。

石墨粉/矽粉顆粒

要求:過濾精度要求高,防止内件穿透。
方案:采用獨特的燒結金屬氈内件,過濾孔徑穩定,保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um。

高溫尾氣

要求:抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。
方案:飛潮采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費嚴重的問題。

3、廢氣廢液處理

多晶矽生産過程中會産生氯氣、氫氣、三氯氫矽、氯化氫等廢氣,及廢液。廢氣廢液處理一直是困擾企業的難題之一。傳統的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費嚴重,環保問題嚴峻。

飛潮采用幹法分離技術,将廢氣廢液在爐内燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末産生極大的經濟效益。同時解決環保達标排放問題。

工藝優勢

1、廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單。

2、回收的SiO2粉末産生極大的經濟效益。

3、氣體經燃燒後,符合環保要求,可直接放空處理,經濟環保。

 



飛潮部分矽業客戶

版權所有 © 龙8国际

服務熱線: 400-820-6150

郵箱:marketing@feature-tec.com

滬ICP備06016156号