LCD洗浄への応用

 

過程簡述

 

 LCD生産工程中で洗浄工芸が必要となります。例えば、TFTアレイ工程では、受け入後洗浄、成膜前洗浄、成膜後洗浄、塗布前洗浄、エッチング後洗浄、剝離後洗浄、といった洗浄プロセスがあり、これらが5~6 回繰り返される。セル工程では受入後洗浄、ラビング後洗浄、液晶注入後洗浄がある。このうち、TFTアレイ工程の中の成膜前洗浄、塗布前洗浄、剝離後洗浄が歩留リに大きく影響を與える。TFT-LCD洗浄ラインのクリーンルーム内の主要汚染源としては、人間、裝置、薬液、空気、材料が考えられる。特に歩留まりに影響を與える(=検査の時観察できる)ものとして、クリーンルームの中で放置しておくと表面に付着する有機物、RR殘物などがある。こうした汚染源はパーティクルの発生にも影響を與え る。それ以外にも成膜工程、ラビング処理でパーティクルの発生が予想される。金屬不純物は、薬液処理や搬送で発生する。金屬についてはa-Siでは重要視されないが、poly-Siや半導體の分野では重要なポイントとなる。
 

主な洗浄工芸

 

濕法

 

    洗う

    高圧スプレー

    フヤカス式超音波洗浄

   流水式高周波超音波洗浄

   薬液でスプレー

    二流體洗浄

    超高圧微細粒子スプレー洗浄技術

    功能水洗浄技術

 

乾法

 

   紫外線照射洗浄(UV洗浄)

   プラズマ洗浄 

 

 

問題説明

 

    洗浄液中の不純物はガラス基闆性能に影響があります。

    加工工程でガラス基闆表面と使用された各種な材料間に親和力の影響があります。

    ガラス基闆の膜層に損傷があります。

 

 

製品応用
 

高純水、超純水、イオン交換水の終端濾過

 

    PES膜カートロッジ 


工芸用水処理、或いは高純水として多様な模式濾過の前処理

 

    PP膜カートリッジ

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