多晶矽高溫尾氣處理
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多晶矽作為制作太陽能電池的主要原料,近年來得到巨大發展。不管是改良西門子法還是矽烷法生産工藝中都存在大量過濾分離器,用于矽粉收集、氯矽烷循環洗滌、循環水再利用等工序。結合諸多項目經驗,飛潮提出了自己的過濾工藝龙8国际。

 

污染物及雜質:

 

未完全反應的矽粉顆粒
循環液帶入的管道中的雜質
進料帶入的固體粉塵與雜質
合成反應生成的固體雜質

這些顆粒的存在是影響生産穩定、換熱效率的重要原因。高效的過濾與分離裝置不僅保護了生産設備的工藝安全,同時也提升了産品産量。

 

高溫尾氣淨化

 

尾氣過濾應用在多晶矽生産的各個工藝段,對多晶矽的生産起到重要作用,尤其目前行業低位運行期間,對多晶矽産品降低成本至關重要.

a.廢氣廢液工位的煙氣過濾
b.還原爐尾氣分離
c.氫化爐尾氣分離
d.矽粉槽矽粉過濾等。

 

1、還原尾氣分離

 

在SiCl4氫化氣和SiHCl3還原氣通過幹法分離後,H2和HCl得以回收利用,在H2回用前需過濾氣體中含有的未反應矽粉和生成的石墨粉,保證氫氣純淨,使氫化反應和還原反應更穩定、高效。

問題:

要求:

解決:

氫氣為高危氣體

過濾器密封性能良好

采用自動反吹系統,無須打開濾器,減少内件更換頻次,避免洩露可能

石墨粉/矽粉顆粒粒徑微小,硬度高。

過濾精度要求高,防止内件穿透。

采用獨特的燒結金屬氈内件,過濾孔徑穩定,保證過濾性能,過濾精度可達0.1um-0.5um

尾氣溫度高

抗溫要求高。避免降溫處理帶來的一系列問題。

飛潮采用高溫直接處理工藝,避免降溫處理帶來管道腐蝕,能耗浪費嚴重的問題。

 

2、廢氣、廢液焚燒處理

 

在多晶矽生産工藝中,廢氣廢液處理一直是困擾企業的難題之一。傳統的噴淋處理工藝,處理成本高,浪費嚴重,環保問題嚴峻。

 

龙8国际:

 

飛潮采用幹法分離技術,将廢氣廢液在爐内燃燒,生成SiO2粉末,通過分離收集SiO2粉末産生極大的經濟效益。同時解決環保達标排放問題.

 

工藝優勢:

 

廢氣廢液集中處理,工藝流程短,操作簡單。
回收的SiO2粉末産生極大的經濟效益。
氣體經燃燒後,符合環保要求,可直接放空處理,經濟環保。

 

 

多晶矽其他過濾器

 

從改良西門子法到矽烷法,從氯矽烷過濾到高溫尾氣分離,飛潮都可滿足客戶不同的需求。

 

飛潮部分矽業客戶

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