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過程簡述龙8国际

半導體集成電路是指在半導體基闆上，利用氧 化、蝕刻、擴散等方法，将衆多電子電路組成各式二極管、晶體管等電子組件作在一微小面積上，以完成某一特定邏輯功能（例如：AND、OR、NAND等）， 進而達成預先設定好的電路功能。半導體的生産工藝要求高，涵蓋光刻、精密切割和研磨等各種複雜工藝，生産半導體的過程會産生大量的廢水， 半導體廢水污染物種類多，成分複雜，通常包括多種重金屬廢水，有機廢水以及矽和氟廢水；同時半導體PCW系統的制程冷卻水須過濾處理以回用（見水處理應 用）。

清洗工藝及廢水來源

問題描述

• 分産生廢水量大
• 廢水成複雜，含有各種過渡性質的金屬如矽、鍺等，同時含有較高含量的氟；
• 廢水中含有難以處理的較高濃度的 COD；

産品應用龙8国际

• 陶瓷膜過濾系統
• 占地面積小，集中管理，智能控制；
• 産水質量高，同時去除廢水中的磷酸鹽和COD；
• 耐化學酸堿性佳，壽命長，維護簡便；
• 簡化傳統工藝，無需添加藥劑；